Hersteller Vakuumventil SS304 316L Edelstahl
| ECKVENTIL | Manuell betrieben mit Faltenbalg-Eckventil |
| Z-INLINE-VENTIL | Pneumatisch betätigtes Eckventil |
| Y-INLINE-VENTIL | Y-Inline-Ventil |
| KUGELVENTIL | Zweistufiges Ventil |
| SCHIEBER | UHV-Schieber (mit Faltenbalg) |
Merkmale
* Langlebiger Betrieb.
* Sie funktionieren zuverlässig in Anwendungen, die von Halbleiterproduktionssystemen mit chemischer und partikulärer Kontamination reichen.
* Geschweißte Faltenbalgdichtung aus Edelstahl.
* Ausheizbar bis 200 °C mit Unterbrechungen, Viton-Dichtungshaube.
* Manuelle und elektropneumatische Betätigung oder ausfallsichere Antriebe
* Kompakte Größe.
* Einfache und schnelle Wartung.
* Einfache Steuerung über Magnetventil mit Handhilfsbetätigung.
Spezifikationen
| *Körper | 304 SS (Andere Materialien auf Anfrage erhältlich) |
| *Teppich | 304 SS (Andere Materialien auf Anfrage erhältlich) |
| *Balg | Geschweißter AM-350 (Option) |
| *Magnet | Möglichkeit |
| *Positionsanzeiger | Möglichkeit |
| *Siegel | Viton-O-Ring |
| *Leckrate | 2x10-9 std.cc./Sekunde |
| *Druckbereich | 1x10-9 Torr bis 760 Torr Viton-Dichtungshaube |
| *Maximaler△Druck vor dem Öffnen | 1,2 bar |
| *Betriebsluftdruck | 4~6,5kg/cm2 |
| *Zyklen bis zum Service | 16 bis 50~500.000 |
| *(Volle Öffnung geöffnet) | 63 bis 150~250.000 |
| 200 bis größer~anwendungsabhängig | |
| *Ausheizbegrenzung | 150ºC Viton-Dichtungshaube |
| Größere oder Sondergröße ist verfügbar |
Anwendungen
*Modelle mit KF-, ISO- und ANSI-Anschluss sind für Hochvakuumanwendungen ausgelegt, bei denen der Vakuumdruck etwa 10 beträgt-9Torr und Ausheiztemperatur nicht über 150ºC.
*Modelle mit CF-Anschluss sind für Ultrahochvakuumanwendungen ausgelegt, bei denen der Vakuumdruck etwa 10 beträgt-10Torr und Ausheiztemperaturen nicht über 200 °C.Sie werden auch häufig in Anwendungen verwendet, die eine dauerhaftere Abdichtung erfordern.
Shanteng Vacuum liefert Vakuumlösungen für die Halbleiterindustrie.
Wir bieten Zubehör für Ultrahochvakuumteile, Hardware, Komponenten, einschließlich KF-, CF-, ISO-ASA-Flansche, Armaturen;Wir stellen auch Vakuum-Kugelhähne, Absperrschieber und Eckventile sowie Vakuumkammern her.Wir gestalten die Prozesse effizienter, verkürzen die Vorlaufzeit und sparen Kosten für unsere Kunden.
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